Device Data Editor
画面タイトル DEVICE DATA EDITOR のこの画面は、装置が扱うデータをコンテナ構造として定義するエディタです。ウェハマップ、マガジン、トレイのように、位置と数量を併せて管理する必要のあるデータモデルを作成するのに使います。
画面は上部のタイトル、左側のコンテナ一覧、下部のコンテナ情報入力部、そして最下部の保存ボタンで構成されます。コンテナを追加・修正・削除したあとは、下部の SAVE ボタンで保存すると定義がプロジェクトに反映されます。
DEVICE CONTAINER LIST(左側)
左側の DEVICE CONTAINER LIST は、現在のプロジェクトに定義されたコンテナの一覧です。一覧で項目を選択すると、下部の DEVICE INFORMATION 領域にそのコンテナの詳細設定が表示されます。
新しいコンテナは情報を入力したあと ADD で追加し、既存の項目を選んで値を変えたあと Apply で修正します。一覧の各項目が、スクリプトで名前により参照するデータ単位になります。
DEVICE INFORMATION(下部)
DEVICE INFORMATION 領域では、選択したコンテナの属性を定義します。コンテナの名前、接続する IO センサー、データ構造の形態、容量などを一行で入力します。
| フィールド | 用途 |
|---|---|
Container Name | コンテナ名。スクリプトではこの名前でデータにアクセスします。 |
Sensor | コンテナに接続する IO です。隣の IO ボタンで IO を選択して指定します。 |
Type | データ構造の形態を選択します。Single / Queue / Stack / Array / Map から選びます。 |
Capacity | 保管できる項目数です。1~1000 の範囲の整数で指定します。 |
Map(X · Y) | Type が Map のときに表示され、格子の横・縦のマス数を指定します。 |
Set WaferMap ボタン | Map タイプでウェハマップの格子を詳細に編集するダイアログを開きます。 |
Type の選択に応じて入力領域が変わります。Single・Queue・Stack・Array は Capacity 入力欄が表示され、Map は格子サイズ(X · Y)と Set WaferMap ボタンが表示されます。
Type ごとの意味
Type は、コンテナがデータを保持する方式を決めます。扱う対象の入出庫順と位置表現の方式に合った形態を選択します。
| Type | 意味 |
|---|---|
Single | 項目を一つだけ保持する単一スロット。 |
Queue | 先に入った項目が先に出る(FIFO)先入れ先出し構造。 |
Stack | 後に入った項目が先に出る(LIFO)後入れ先出し構造。 |
Array | Capacity 分の固定長配列。インデックスでアクセスします。 |
Map | 横・縦の格子形態。ウェハマップのように座標のある位置データに使います。 |
マガジン・トレイのように積載順が重要な対象は Queue または Stack で、セル位置が重要なウェハマップは Map で定義するのが一般的です。
操作の流れ
- 左側の一覧から既存のコンテナを選ぶか、新しい定義を始めます。
Container Nameを入力し、必要に応じてIOボタンでSensorを指定します。Typeを選択します。配列・キュー・スタックはCapacityを、Map はX·Yの格子サイズを入力します。- Map の場合は
Set WaferMapで格子の配置を詳細に編集します。 - 新しいコンテナは
ADD、既存項目の修正はApply、削除はDeleteを使います。 - 下部の
SAVEで保存し、元に戻すにはRESTOREを押します。