GUI 手册 · Chapter 13

Device Data Editor

标题为 DEVICE DATA EDITOR 的此画面,是将设备所处理的数据以容器结构进行定义的编辑器。用于构建须同时管理位置与数量的数据模型,例如晶圆图、料盒、托盘等。

画面由顶部的标题、左侧的容器列表、底部的容器信息输入部分以及最下方的保存按钮构成。添加、修改或删除容器后,须用底部的 SAVE 按钮保存,定义才会应用到项目。

DEVICE CONTAINER LIST(左侧)

左侧的 DEVICE CONTAINER LIST 是当前项目中已定义的容器列表。在列表中选择条目后,底部的 DEVICE INFORMATION 区域将显示该容器的详细设置。

新容器在输入信息后用 ADD 添加;选中已有条目并修改值后用 Apply 修改。列表中的每个条目即是在脚本中按名称引用的数据单元。

DEVICE INFORMATION(底部)

DEVICE INFORMATION 区域用于定义所选容器的属性。在同一行中输入容器名称、要连接的 IO 传感器、数据结构形态、容量等。

字段用途
Container Name容器名称。在脚本中以此名称访问数据。
Sensor要连接到容器的 IO。用旁边的 IO 按钮选择并指定 IO。
Type选择数据结构形态。从 Single / Queue / Stack / Array / Map 中选取。
Capacity可存放的项目数。以 1~1000 范围的整数指定。
MapX · YType 为 Map 时出现,指定格子的横向与纵向格数。
Set WaferMap 按钮在 Map 类型下打开详细编辑晶圆图格子的对话框。

输入区域会随 Type 选择而改变。Single、Queue、Stack、Array 会出现 Capacity 输入框,Map 则出现格子尺寸(X · Y)和 Set WaferMap 按钮。

各 Type 的含义

Type 决定容器存放数据的方式。请选择与所处理对象的进出顺序和位置表示方式相匹配的形态。

Type含义
Single仅存放一个项目的单一槽位。
Queue先进先出(FIFO)结构,先进入的项目先取出。
Stack后进先出(LIFO)结构,后进入的项目先取出。
Array长度为 Capacity 的定长数组。按索引访问。
Map横向/纵向格子形态。用于带坐标的位置数据,如晶圆图。

像料盒、托盘这类堆叠顺序重要的对象,通常定义为 Queue 或 Stack;而单元格位置重要的晶圆图则定义为 Map。

使用流程

  1. 在左侧列表中选择已有容器,或开始新的定义。
  2. 输入 Container Name,如有需要用 IO 按钮指定 Sensor
  3. 选择 Type。数组/队列/栈输入 Capacity,Map 输入 X · Y 格子尺寸。
  4. 若为 Map,用 Set WaferMap 详细编辑格子布局。
  5. 新容器用 ADD,修改已有条目用 Apply,移除用 Delete
  6. 用底部的 SAVE 保存,如需还原则点击 RESTORE

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